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氣體質(zhì)量流量計【簡稱MFM】基于內(nèi)部補償型*層流壓差技術(shù)，內(nèi)置壓力和溫度傳感器，能充分補償因溫度和壓力引起的體積流量和質(zhì)量流量間的差異，可快速精確測量過程氣體的實時溫度、壓力、工況流量、標(biāo)況流量和累計流量五大參數(shù)。用于精確和快速測量氣體流量、泄露率檢測或作為標(biāo)準(zhǔn)表進行量值傳遞與校準(zhǔn)等。

氣體質(zhì)量流量控制器【簡稱MFC】基于內(nèi)部補償型層流壓差技術(shù)，內(nèi)置壓力和溫度傳感器，能充分補償因溫度和壓力引起的體積流量和質(zhì)量流量間的差異，通過精密電磁比例調(diào)節(jié)閥自動控制氣體流量，從而提供更加準(zhǔn)確和穩(wěn)定的流量測量和控制。層流質(zhì)量流量控制器可作為主要設(shè)備在高?？蒲性核蛷V泛的工業(yè)過程自動化控制中使用。