層流壓差流量計(jì)是測控氣體流量的儀表，是計(jì)量氣體流量的計(jì)量器具。質(zhì)量流量計(jì)(MFM)和控制器(MFC)使用前需要預(yù)熱，這是熱式原理MFM/FMC產(chǎn)品的一個(gè)特點(diǎn)。為什么呢？
 

　　這是由熱式原理測量方式所決定，其產(chǎn)品流道內(nèi)需另外開一旁通微小的管道，通常叫毛細(xì)管，通過把毛細(xì)管加熱到一定溫度，再通過一定的公式來計(jì)算流量。剛開機(jī)的熱式產(chǎn)品因?yàn)槊?xì)管溫度還未達(dá)到正常測量時(shí)需求的溫度，所以需要在管道通氣后先加熱到預(yù)定溫度，才可以準(zhǔn)確測量，這個(gè)加熱的過程就是預(yù)熱的過程，時(shí)間通常為5~30分鐘不等。
 

　　從原理上講，以下是層流壓差流量計(jì)幾個(gè)優(yōu)勢：
 

　　工作范圍廣：從測量范圍上講，層流壓差產(chǎn)品最小能測控到0.01ml/min的氣體，最大能測量到10000L/min的氣體；從適用溫度上講，氣體的壓差不受溫度影響，溫度只影響產(chǎn)品本身材質(zhì)，所以層流壓差產(chǎn)品在工作溫度上范圍更廣，低溫可到-50℃，高溫可到115℃左右；
 

　　響應(yīng)速度快：從原理上講，層流壓差原理產(chǎn)品從獲得壓差來測量流量，而壓差是通過壓力波傳播，壓力波速度跟聲速一樣。這就意味著壓差傳感器接收信號的時(shí)間低于1ms，加上系統(tǒng)處理信號并反饋的時(shí)間，意味著層流壓差產(chǎn)品的響應(yīng)速度會(huì)非?？焖佟?br /> 

　　精度更好：層流壓差產(chǎn)品信號主要是來源于壓差信號，而壓差傳感器的精度和分辨率目前能到萬分之一。這使得層流壓差原理的產(chǎn)品準(zhǔn)確度非常好，標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品，目前可以做到0.5%級，實(shí)驗(yàn)測試會(huì)更好。
 

　　穩(wěn)定性和可靠性更好：層流壓差原理產(chǎn)品從原理上來講，只受壓差本身的影響，其他環(huán)境的變化例如溫度，不會(huì)影響產(chǎn)品正常工作。