混合氣體質(zhì)量流量計(jì)是一種精確測(cè)量氣體流量的儀表，用于對(duì)于氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密丈量和控制；具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。而質(zhì)量流量控制器就是一個(gè)穩(wěn)流裝置，是一個(gè)可以手動(dòng)設(shè)定或與計(jì)算機(jī)連接自動(dòng)控制的氣體穩(wěn)流裝置。
氣體質(zhì)量流量計(jì)(MassFlowMeter縮寫為MFM)用于對(duì)于氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密丈量。擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管丈量景象形象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工，冶金，制藥等。特點(diǎn)：精度高，重復(fù)性好。
混合氣體質(zhì)量流量計(jì)是一個(gè)較為準(zhǔn)確、快速、可靠、高效、穩(wěn)定、靈活的流量測(cè)量?jī)x表，在石油加工、化工等領(lǐng)域?qū)⒌玫礁訌V泛的應(yīng)用。此外，質(zhì)量流量計(jì)是采用感熱式測(cè)量，通過(guò)分體分子帶走的分子質(zhì)量多少?gòu)亩鴣?lái)測(cè)量流量，因?yàn)槭怯酶袩崾綔y(cè)量，所以不會(huì)因?yàn)闅怏w溫度、壓力的變化從而影響到測(cè)量的結(jié)果。
工作原理：
它是利用科里奧利原理，即利用測(cè)量管下半部分振動(dòng)頻率相位差正比于質(zhì)量流量以測(cè)量流量，利用測(cè)量管諧振頻率與管中被測(cè)介質(zhì)密度間的函數(shù)關(guān)系求取密度，從此兩個(gè)基本參數(shù)質(zhì)量流量qm和密度ρ衍生得出體積流量qv(=qm/e),若被測(cè)液體是兩種有一定密度差相溶或不相溶混合液體，經(jīng)密度演算得出一種液體在混合液中的濃度，如油甲油水混合液的含水率，在測(cè)量液固雙相流中可測(cè)出含固率。
由原理可知質(zhì)量流量計(jì)在流量計(jì)量行業(yè)一般是把可以不通過(guò)其他參數(shù)補(bǔ)償而直接測(cè)量流體介質(zhì)質(zhì)量流量的。其顯著的特點(diǎn)就是可以直接測(cè)得介質(zhì)的質(zhì)量流量，而不受介質(zhì)工作狀態(tài)的壓力、溫度等因素的影響。
